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1700℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S3 (300mm Ø100)
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1700℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S3 (300mm Ø100)

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상품명 1700℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S3 (300mm Ø100)
판매가 27,863,120원 (VAT 별도)
모델 SH-FU-PK-S3
상품요약정보 Chemical Vapor Deposition (CVD, 화학기상증착) 공정용 전기로, annealing(소둔)용 전기로, Gas Flow package+이동형Frame + chiller + 진공펌프로 완변한 구성
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상품명 튜브 안전 덮개 Safty Cover (튜브로 양끝단 Cover, 1SET 좌/우 2개)
판매가 800,000원
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상품명 가스 연결 서비스(봄베용 레귤레이터, 테프론호스 설치)
판매가 250,000원
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상품명 가스수분제거 Column 설치(FURNACE)
판매가 420,000원
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상품명 가스질량유량계 Mass Flow Controller (Multi gas selectable)
판매가 2,730,000원
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상품명 압력컨트롤러 Back Pressure Regulator (Controllers)
판매가 2,270,000원
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상품명 방열장갑 High Temp Proof Gloves
판매가 187,000원
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1700℃ 튜브전기로 패키지(CVD,annealing) FU-PK-S3 (300mm Ø100) 수량증가 수량감소 27863120 (  )
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CVD(화학기상증착) 공정및 annealing(소둔)용 전기로 Full Package
Package Model FU-PK-S3
Furnace Model SH-FU-100TS-WG
Chiller SH-WB-5CDR(-30)
Vacuum Pump SH-V10
Oil Mist Trap VOT-1020
Table Moving Frame
Dimension 1265x800x1970mm
49.80x31.49x77.56''
Cat.NO FUPKS3300-17





1700℃ 튜브 전기로 SH-FU-50TS
Model SH-FU-100TS-WG
Furnace SH-FU-100TS
Components Gas Flowmeter 1EA
Stainless Steel Pipe & Connector
Gas Sealing Mask
Alumina Tube (Length 1000 mm)
Cat. No. FU100TS-17WG230
    • Safety Device
  • -Automatic reset function incoming power cut
  • -Over temperature alarm
    • Option
  • -Gas inlet module 추가
  • -가스 연결 서비스
  • 가스 봄베용, 테프론호수 설치
  • -MFC, BPR
  • gas module
  • -Safty Cover 튜브 안전 덮개
  • Safty Cover 튜브 안전 덮개
1700°C Tube Furnace
Model SH-FU-100TS
Max Temp 1700℃ (3092℉)
Temp Controller Programmable Controller(SP590)
Sensor R type
Applicable Tube Diameter 100 Φ
Heater Capa 6.9 KW
Dimension Hot Zone Length 300 mm
Dimension External
(W×D×H ) 		690x600x1030mm
27.17x23.62x40.55''
Weight 131 Kg
Heater Element MoSi 2
Insulation Ceramic Board & Wool
Electrical Requirements
230V ,50/60Hz, 1Φ		 30 A
Cat. No. 50Hz(60Hz) FU100TS230-17



튜브전기로패키지 진공단계






칠러, 냉동순환수조, SH-WB-5CDR(-30), 냉각기
Model SH-WB-5CDR
Order Number SH-WB-5CDR(-30)
Temp Controller Microprocessor digital controller
Temp Control Range Ambient -50℃ to Ambient (Low limit -30℃)
Ambient -28℉ to Ambient
Reservior Capa 5 L
Recirculating
Pump		 Max flow 15.6 L/min
Max pressure 22 psig
Dimension Internal
(Φ×H)		 180Φ×210Hmm
7.09Φx8.27H''
Dimension External
(W×D×H)		 465×560×847mm
18.18x22.04x33.35''
Weight 48 Kg
Material Internal Stainless Steel
Material External Steel Plate With Powder Heating Coated
Power 230V, 60Hz, 1Φ
Cat. No. WB5CDR-30230-60
    • Safety Device
  • -Automatic reset function incoming power cut
  • -Electric leakage circuit breaker



오일로타리 진공펌프
Model SH-V10
Pumping Speed(50/60Hz) 78L/min
Ultimate total pressure gas
ballast close		 5x10-2 Pa
( 3.7x10-4 torr )
Ultimate total pressure gas
ballast open		 3 Pa
( 2.2x10-2 torr )
Power supply 220V,50/60Hz  or  110V,50/60Hz
Power rating(kw) 0.4(1 Phase)
Inlet/Exhaust Flange KF 16/25
Oil capacity(L) 0.6~1.0
Ambient temperature(℃) 5~40
Noise level(dB) ≤56
Weight(kg) 19
Recommended for
Vacuum Drying Ovens
(SH-VDO-08NG, SH-VDO-30NG, SH-VDO-70NG,
SH-VDO-30NS, SH-VDO-70NS)
Tube Furnace All Packages
    • Option
  • 오일로타리 진공펌프 오일 미스트 트랩
  • Oil Mist Trap with Filter
  • VOT-1020 : V10, V20
  • VOT-4080 : V40, V60
  • 오일로타리 진공펌프 오일 미스트 트랩 필터
  • Filter for Oil Mist Trap
  • VOTF-1020 : VOT-1020
  • VOTF-4080 : VOT-4080



Dimensions
Model A B C D E G H I J K L DN
SH-V10 460 144 207 210 110 126 154 45 45 34 / KF16/25




Mass Flow Controller 가스질량유량계

Model MC Series MCS Series MCSS Series MCV Series
Type General For Toxi Gas For Toxi Gas (Cl2, SO2, HCl 포함) For Vacuum
Flow Range 0 ~ 1 slpm / 0 ~ 5 slpm
Mass Flow Accuracy at
calibration conditions		 ±0.6% of reading or ±0.1% of full scale ±0.8% of reading or ±0.2% of full scale
Operating Temperature Range -10 to +60°C
Temperature Accuracy ±0.75°C
Operating Pressure full scale 145 PSIG
Pressure Accuracy Above 1 atm: ±0.5% of reading
Typical Indication Response Time < 10 ms < 100 ms
Typical Warm-Up Time <1 Second
Monochrome LCD Simultaneously displays
mass Flow, pressure and
temperature		 Simultaneously displays mass Flow,
Volumetric Flow, pressure and temperature
Mechanical Dimensions
(HxWxD)		 104.14x91.44x27.94mm / 4.1x3.6x1.1" 121.92x172.72x38.1mm /4.8x6.8x1.5"
Gas Selectable 98 Gas 128 Gas (Cl2, SO2, HCl 제외) 131 Gas  (Cl2, SO2, HCl 포함) 98 Gas
Communication RS-232







Back Pressure Regulator (Controllers) 압력컨트롤러
Model BPR Series BPRV Series BPRS Series BPRSS Series
Type General For Vacuum(음압용)
For Toxi Gas (CL2, HCl, SO2 제외) For Toxi Gas (CL2, HCl, SO2 포함)
Pressure Range 1PSIG ~ 15PSIG 0PSIG ~ 1PSIG(0 ~ 760torr) 1PSIG ~ 15PSIG
Standard Accuracy ± 0.25% (≥ 1 psi)
Repeatability ± 0.08% Full Scale
Typical Response Time < 100 ms
Warm-up Time < 1 Second
Operating Temperature -10 to +60℃
Monochrome LCD Displays Pressure
Mechanical Dimensions
(HxWxD)		 104.14x91.4x27.94mm / 4.1x3.6x1.1"
Communication RS-232












    적용분야
  • 우주소재 및 금속재료 생산 산업분야/세라믹, 합금, 타타늄의 열처리를 수행하는 파괴시험 연구, 개발 및 생산
    Destructive testing laboratories who carry heat treatment of ceramic, alloy, titanium and etc for aerospace and metallic production industries.
  • 니켈함금과 같은 금속류 분말을 소결하는 연구, 개발 및 생산
    Building companies who transforms metallic power such as nickel alloy into sintered materials by sintering.
  • 고분자합성물과 그라핀을 개발하는 재료공학 연구, 개발 및 생산
    Material technology providers who develop polymer composites and graphene materials.
  • 가스분위기에서 상온과 고온(1700도)의 반복산화시험을 수행하는 우주항공용 소재 연구,개발 및 생산
    Aerospace companies who perform cyclic oxidation test between high tmep to room temperature in atmosphere-controlled environment.
  • 재료의 연소를 통해 성분을 분석해야 하는 의료 연구, 개발
    Medical and healthcare companies who need analysis of ashes and contents through combustion of materials.
  • 진공과 가스분위기에서 소결을 해야 하는 재료 혁신 연구, 개발 및 생산
    Material innovation companies who do sintering in vacuum or in inert gases.
  • 인코넬 718 튜브를 소결, 소둔, 경화하는 진공전기로가 필요한 해상용 표면 인젝션 시스템 연구, 개발및 생산
    Subsea and surface injection system companies who need vacuum furnace for softening cycles, annealing and age hardening of Inconel 718 tubes.
  • 다양한 물질을 열처리시험을 통해 분석하는 연구, 개발
    Analytical research labs who perform various material testing with thermal treatment.
  • 합금파우더를 소둔하는 의료용 임플란트 연구, 개발및 생산
    Medical implants manufacturers who anneal alloy powders.
  • 고분자세라믹부품의 소결을 하는 대학교 재료 과학 연구,개발
    Material scientists in universities who do sintering materials such as polymer-derived ceramic parts.
  • 고체산화연료전지를 가공하는 응용과학기술 분야
    Applied science engineers who process solid oxide fuel cells (SOFC).
  • 연소물질이 필요한 환경 화학 연구 분양
    Environmental and chemical researchers who need combustion of materials.
  • 위험물질관리, 오염토양복원, 공기오염관리 분야
    Regulatory compliance service providers in the areas of hazardous waste thermal treatment, air permitting, air pollution control, contaminated soil remediation, and hazardous waste management.
  • 금속 진공남땜이 필요한 금속부품 생산 분양
    Metallic parts manufacturers who need vacuum brazing and heat treating for steel.
  • ASTM D2584에 따라 섬유강화합성물의 유리성분을 시험해야 하는 수질처리 분야
    Water treatment companies who test glass content in FRP (fiber reinforced polymer) products according to ASTM D2584.
  • 질화갈륨 반도체 웨이퍼를 소둔하는 반도체 분야
    Semiconductor manufacturers who anneal Gallium nitride (GaN) semiconductor wafer.
  • 다공세라믹튜브을 위한 양생과 소결방법을 연구하는 엔지니어링 분양
    Engineering companies who do curing and sintering solutions in porous ceramic tubes.
  • 토양연소가 필요한 토목공학 분야
    Civil engineers who need soil combustion.
  • 진공조건에서 실리카 웨이퍼를 소둔하는 연구 분야
    University labs who anneal Si wafer in vacuum condition.
  • 탄소나노섬유(CNT) 전구의 열처리를 수행하는 화학연구분야
    Chemistry research departments who do the thermal treatments (stabilization in air and carbonization in argon) of carbon nanofiber precursors.
  • 해상용 중유의 성분을 분석하는 해상장비제조분양
    Marine equipment manufacturers who analyze ash content in marine HFO (Heavy Fuel Oil).
  • 화학증기증착기법(CVD) 을 이용한 그라핀기반재료를 생산하는 그라핀 연구, 개발 및 생산
    Graphene solution companies who produce graphene-based materials by CVD (Chemical Vapor Deposition) method. CVD furnace
  • 폴리머, 옥사이드, 인산염, 황화물을 이용한 차세대 고체전지 개발분양
    Solid state battery manufacturer with polymer electrolyte, oxide electrolyte, sulfide electrolyte, phosphate electrolyte and etc.


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